在芯片刻蚀机腔体内壁表面喷涂一层0.15mm厚的氧化钇涂层,可有效避免腔体基材对硅片刻蚀的污染,同时刻蚀机的大修寿命可由15天延长到6个月。同时由于氧化钇具有良好的高温稳定性能以及恶劣环境下的耐热性能等,可用作高温隔热涂层材料,如用于硬质合金工业中石墨层的保护等。